车间废气处理半导体行业

车间废气处理半导体行业处理方案介绍： 

RTO蓄热式热力氧化炉英文名为“RegenerativeThermalOxidizer”，故简称为“RTO”。蓄热式热力氧化炉（RTO）是本公司在消化、吸收国外技术的基础上开发的一种有机废气治理设备。 把有机废气加热到760℃以上，使废气中的VOCs氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体经特制的陶瓷热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热体应分成两个（含两个）以上的区或室，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。

RTO工作原理：其原理是把有机废气加热到760摄氏度以上，使废气中的VOC在氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热后续进入的有机废气。从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热体应分成两个（含两个）以上的区或室，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。蓄热室“放热”后应立即引入部分已处理合格的洁净排气对该蓄热室进行清扫（以保证VOC去除率在95%以上），只有待清扫完成后才能进入“蓄热”程序。

车间废气处理半导体行业处理方案特点:

●  金属对金属气密几乎零泄漏双碟片设计的切换阀门设计能够达到99%VOC去除破坏效率，不需要额外增设吹扫储罐或者其它设备。
● 在有机废气进入RTO前，设置足够容积的缓冲罐，增加废气的停留时问，较好地混合气体浓度，并根据需要补充风量，避免高浓度、大气量废气直接进入RTO。
●  系统的灵活性可满足宽泛的工艺条件，并可轻松控制多处工艺废气来源。
●  订制的蓄热陶瓷层能够提供95%的热能回收，并且其压降小，减少了风机电力需求。
●  缓冲罐至RTO管线等位置设置回火装置；紧急排放阀宜设置远程独立控制，防止在非正常情况下，气流堵塞，影响上游设置。
●  对关键操作参数实时监测和进行连锁控制，实时监测风机、阀门、燃烧器、酸碱度、废气浓度、炉膛和废气管道压力的参数变化，并按工艺安全要求设置相应连锁。